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碳碳紧固件应用场景
碳碳紧固件包含碳碳螺栓、螺母、螺杆、定位销、卡箍等紧固配件,专门用于单晶炉、真空热处理炉整套热场装配,替代传统石墨紧固件与金属高温紧固件,解决纯石墨易崩齿、钼金属重量大、热膨胀不匹配等行业痛点。整套热场内部发热体、保温板、承载盘长期处于上千度高温,普通石墨螺纹反复拆装极易崩边滑丝,金属钼紧固件热膨胀系数与石墨热场差异大,冷热循环后螺纹卡死,拆解困难,碳碳紧固件完美规避上述缺陷。
碳碳紧固件以三维编织碳纤维预制体致密成型,韧性远高于人造石墨,螺纹受力不易断裂、磨损,使用寿命是石墨紧固件 5 至 10 倍;自身热膨胀系数与碳碳、石墨热场构件高度匹配,升温降温同步伸缩,螺纹配合间隙稳定,长期高温紧固不松动、不抱死。自重轻便,多件堆叠装配不会加重热场负重,降低炉体支架形变风险。
高纯碳碳紧固件无金属杂质析出,真空长晶、半导体退火等高洁净工序可直接裸材使用,不会造成硅片黑点、芯片电学参数偏移;间断微氧工况可做 SiC 抗氧化涂层,提升表层抗氧化冲刷能力。规格覆盖 M3-M28 标准螺纹,同时可定制台阶定位销、加长全牙螺杆、法兰防滑螺母等非标结构。
东莞市捷诚石墨制品有限公司一站式加工各类碳碳紧固件,一体成型完整螺纹无毛刺,可配套整套碳碳热场构件同步供货,支持图纸非标定制,大幅减少设备耗材更换频次,提升产线连续运转稳定性。
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